স্থিতিশীল অতি-সূক্ষ্ম লাইন প্রস্থ এবং ± 0.2mil এর ব্যবধান নিয়ন্ত্রণ অর্জন করতে, উপাদান নির্বাচন, মূল প্রযুক্তি, সরঞ্জামের নির্ভুলতা এবং পরিবেশগত নিয়ন্ত্রণের সম্পূর্ণ প্রক্রিয়া থেকে একটি বন্ধ-লুপ নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা স্থাপন করা প্রয়োজন। নিম্নলিখিত সম্ভাব্য প্রযুক্তিগত পথ:
উপাদান উত্স নির্ভুলতা নিয়ন্ত্রণ
সাবস্ট্রেট নির্বাচন: অত্যন্ত কম তাপীয় প্রসারণ সহগ সহ সিরামিক সাবস্ট্রেট বা পরিবর্তিত পলিমার সাবস্ট্রেটগুলিকে অগ্রাধিকার দেওয়া হয় এবং তাপমাত্রার ওঠানামার কারণে লাইন স্ট্রেচিং/সঙ্কোচন এড়াতে প্রক্রিয়াকরণের সময় তাপীয় বিকৃতি 0.1মিলের মধ্যে নিয়ন্ত্রিত হয়।
কার্যকরী উপাদান স্ক্রীনিং: কঠোরভাবে ফটোরেসিস্টের সান্দ্রতা এবং আলোক সংবেদনশীলতার ধারাবাহিকতা নিয়ন্ত্রণ করুন। পরিবাহী পেস্টের কণার আকার মাইক্রোমিটার স্তরে নিয়ন্ত্রিত হয় যাতে আবরণের সমান বেধ এবং মুদ্রিত রেখার প্রান্তে কোন burrs না থাকে।
সঞ্চয়স্থান এবং ব্যবহারের পদ্ধতি: উপাদান সংরক্ষণের পরিবেশ হল ধ্রুবক তাপমাত্রা এবং আর্দ্রতা, এবং ফটোরেসিস্ট আর্দ্রতা শোষণ এবং স্লারি কর্মক্ষমতা হ্রাসের কারণে আকারের বিচ্যুতি এড়াতে প্রথম ইন, ফার্স্ট আউট নিয়ম প্রয়োগ করা হয়।
কোর লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়া আপগ্রেড
LDI লেজার ডাইরেক্ট ইমেজিং প্রযুক্তি গ্রহণ করা: ঐতিহ্যগত ফিল্ম এক্সপোজারের বিকৃতি এবং প্রান্তিককরণ বিচ্যুতি সমস্যাগুলি সম্পূর্ণভাবে দূর করা, এক্সপোজার পজিশনিং সঠিকতাকে ± 0.01mm (প্রায় ± 0.4mil) এর মধ্যে উন্নত করা, যা ± 0.2mil নিয়ন্ত্রণ অর্জনের জন্য প্রাথমিক পূর্বশর্ত।
সুনির্দিষ্ট এক্সপোজার প্যারামিটার ক্লোজড-লুপ কন্ট্রোল: 120-150mJ/cm ² এর মধ্যে এক্সপোজার শক্তিকে স্থিতিশীল করুন, 2-3mil আল্ট্রা ফাইন লাইনের জন্য গতিশীলভাবে পরামিতিগুলি সামঞ্জস্য করুন, এক্সপোজারের সময় 15% প্রসারিত করুন যখন এক্সপোজার শক্তি 5-8% কমিয়ে দিন, লাইনের প্রস্থের প্রসারিত লাইনের দৃঢ় প্রসারণ দ্বারা সৃষ্ট লাইনের প্রস্থের প্রসারণ এড়িয়ে চলুন।
এক্সপোজারের আগে সাবস্ট্রেটের প্রি-হিটিং: পরবর্তী এক্সপোজার প্রক্রিয়াগুলিতে তাপীয় সম্প্রসারণ এবং সংকোচনের বিকৃতির হস্তক্ষেপ সম্পূর্ণরূপে দূর করার জন্য আগে থেকেই প্রক্রিয়া সেট মানতে স্তরের তাপমাত্রা স্থিতিশীল করুন।
এচিং প্রক্রিয়া নির্ভুলতার অপ্টিমাইজেশান
একটি যৌগিক নির্ভুল এচিং স্কিম অবলম্বন করা: "লেজার এচিং+ড্রাই প্লাজমা এচিং" প্রক্রিয়ার সংমিশ্রণকে অগ্রাধিকার দেওয়া, প্রথাগত ওয়েট এচিং-এর সাইড এচিং সমস্যা প্রায় দূর করে, এবং সরাসরি লাইন প্রস্থের নির্ভুলতা ± 0.003 মিমি (প্রায় ± 0.12 মিলিমিটারের ± 0.12 মিলিমিটার) পূরণ করা।
এচিং প্যারামিটারের ক্লোজড লুপ নিয়ন্ত্রণ: অ্যাসিডিক কপার ক্লোরাইড এচিং দ্রবণে কপার আয়নের ঘনত্ব কঠোরভাবে 18-22g/L এ নিয়ন্ত্রিত হয়, তাপমাত্রা 35-40 ডিগ্রিতে স্থিতিশীল থাকে, এবং প্রাচীরের পাশের স্থানীয় খোদাই ইত্যাদির অভিন্ন খোঁচা ছাড়াই প্রচলিত প্রক্রিয়ার তুলনায় স্প্রে চাপ 10% বৃদ্ধি পায়। তামা
প্রাক লাইন প্রস্থের ক্ষতিপূরণ: পরিমাপকৃত এচিং ফ্যাক্টরের উপর ভিত্তি করে (5:1 এর চেয়ে বড় বা সমান), নকশার পর্যায়ে প্রায় 0.6mil এর একটি লাইন প্রস্থ ক্ষতিপূরণের পরিমাণ অগ্রিম সংরক্ষিত থাকে যাতে এচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন ছোট লাইন প্রস্থের ক্ষতি পূরণ করা যায়।
সরঞ্জাম এবং পরীক্ষার সিস্টেম সমর্থন
উচ্চ নির্ভুলতা মোশন পজিশনিং সিস্টেম: একটি লিনিয়ার মোটর + গ্রেটিং রুলার সম্পূর্ণ ফিডব্যাক আর্কিটেকচার গ্রহণ করা, ন্যানোমিটার লেভেল মোশন পজিশনিং সংশোধন অর্জন করা এবং 0.1মিলের মধ্যে যন্ত্রপাতির যান্ত্রিক গতি ত্রুটি নিয়ন্ত্রণ করা।
অনলাইন রিয়েল-টাইম সনাক্তকরণ প্রক্রিয়া: প্রক্রিয়াকরণের পরে প্রতিটি বোর্ডের লাইনের প্রস্থ এবং ব্যবধান অবিলম্বে পরিদর্শন করতে লেজার ক্যালিপার এবং উচ্চ বিবর্ধন অপটিক্যাল সনাক্তকরণ সিস্টেম স্থাপন করুন। যদি বিচ্যুতি থ্রেশহোল্ড অতিক্রম করে, একটি সতর্কতা ট্রিগার করা হবে এবং ব্যাচের ত্রুটিগুলি এড়াতে উত্পাদন স্থগিত করা হবে।
সরঞ্জামের অনমনীয়তা অপ্টিমাইজেশান: মূল চলমান অংশগুলি উচ্চ দৃঢ়তার উপকরণ দিয়ে তৈরি, যা পুরো প্রক্রিয়া জুড়ে বহিরাগত কম্পন হস্তক্ষেপকে বিচ্ছিন্ন করে এবং কম্পনের কারণে অবস্থানগত বিচ্যুতি প্রতিরোধ করে।
অতি পরিচ্ছন্ন পরিবেশের সম্পূর্ণ মাত্রিক নিয়ন্ত্রণ
ধ্রুবক তাপমাত্রা এবং আর্দ্রতা কর্মশালা: ± 0.5 ডিগ্রির মধ্যে প্রক্রিয়াকরণ এলাকায় তাপমাত্রার ওঠানামা নিয়ন্ত্রণ করুন, আর্দ্রতা 40% -60% এ স্থিতিশীল করুন এবং পরিবেশগত তাপমাত্রা এবং আর্দ্রতার পরিবর্তনের কারণে সৃষ্ট সরঞ্জামের তাপীয় বিকৃতি এবং ফটোরেসিস্ট কর্মক্ষমতা পরিবর্তন দূর করুন।
100 স্তরের পরিচ্ছন্নতা নিয়ন্ত্রণ: মূল প্রক্রিয়া কর্মশালাটি 100 স্তরের পরিচ্ছন্নতার মান পূরণ করে, বাতাসে ধূলিকণা সম্পূর্ণরূপে ফিল্টার করে এবং সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে ধূলিকণা এড়ায়, রেখার ত্রুটি এবং প্রোট্রুশন সৃষ্টি করে এবং লাইনের প্রস্থ এবং ব্যবধানের সামঞ্জস্য নষ্ট করে।